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    • 《科技》國研院發表12吋叢集式ALD

      時報資訊 via Yahoo奇摩股市· 2 年前

      ... 場行情新台幣一億元的12吋量產型叢集式ALD設備,並於2019年完成設備開發及12吋氧化鋁薄膜製程驗證,10奈米厚度的氧化鋁薄膜均勻性(uniformity< ... ...