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imec開發虛擬晶圓廠 鞏固微影蝕刻製程的減碳策略

比利時微電子研究中心 (imec) 展示最新先進 IC 圖形化製程的環境影響量化評估方案。imec 藉由在 imec.netzero 模擬平台開發虛擬晶圓廠，利用分析結果，與其夥 ...