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High-NA EUV是什麼?新一代極紫外光EUV,為何台積電、英特爾都想要?
數位時代
· 3 天前
台積電總裁魏哲家日前密訪ASML總部,遭指為提前為High-NA EUV機台佈局。但話說回來,High-NA EUV機台是什麼?為何半導體大廠在搶?
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